SEMI M64-2006 标准详情
- 标准号:SEMI M64-2006
- 中文标题:测试方法为EL2深施主浓度在半绝缘( SI )砷化镓单晶通过红外吸收光谱
- 英文标题:TEST METHOD FOR THE EL2 DEEP DONOR CONCENTRATION IN SEMI-INSULATING (SI) GALLIUM ARSENIDE SINGLE CRYSTALS BY INFRARED ABSORPTION SPECTROSCOPY
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:2006-03-01