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SEMI M67-2009 实践用于确定WAFER近刃的几何形状从测得的厚度数据数组使用本ESFQR ， ESFQD和ESBIR度量

SEMI M67-2009 实践用于确定WAFER近刃的几何形状从测得的厚度数据数组使用本ESFQR ， ESFQD和ESBIR度量

SEMI M67-2009 标准详情

  • 标准号：SEMI M67-2009
  • 中文标题：实践用于确定WAFER近刃的几何形状从测得的厚度数据数组使用本ESFQR ， ESFQD和ESBIR度量
  • 英文标题：PRACTICE FOR DETERMINING WAFER NEAR-EDGE GEOMETRY FROM A MEASURED THICKNESS DATA ARRAY USING THE ESFQR, ESFQD AND ESBIR METRICS
  • 标准类别：国际半导体设备与材料协会
  • 发布日期：2009-11-01

内容简介

Defines calculation of the near-edge geometry metrics ESFQR, ESFQD and ESBIR.

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