SEMI M65-2006 标准详情
- 标准号:SEMI M65-2006
- 中文标题:规格FOR蓝宝石衬底用于化合物半导体外延片
- 英文标题:SPECIFICATIONS FOR SAPPHIRE SUBSTRATES TO USE FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR EPITAXIAL WAFERS
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:2006-03-01
Describes requirements for three sizes (50.8 mm, 76.2 mm, and 100 mm) of monocrystalline high-purity polished sapphire substrates.
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