SEMI M68-2009 标准详情
- 标准号：SEMI M68-2009
- 中文标题：实践用于确定WAFER近刃的几何形状从测量高度数据数组使用曲率公制， ZDD
- 英文标题：PRACTICE FOR DETERMINING WAFER NEAR-EDGE GEOMETRY FROM A MEASURED HEIGHT DATA ARRAY USING A CURVATURE METRIC, ZDD
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：2009-11-01
SEMI M68-2009 实践用于确定WAFER近刃的几何形状从测量高度数据数组使用曲率公制， ZDD
内容简介
Defines calculation of near-edge curvature ZDD (radial double derivative of z (height)).
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