SEMI F13-2001 标准详情
- 标准号:SEMI F13-2001
- 中文标题:导气源控制设备
- 英文标题:GUIDE FOR GAS SOURCE CONTROL EQUIPMENT
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:2001-11-01
Gives a guide for the operational and design requirements of gas source control equipment used to control flow and pressure from a gas cylinder to the point of use. It defines the minimum performance criteria and components for gas control equipment
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