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SEMI F19-2004 规范的湿润表面的不锈钢部件的表面状况

SEMI F19-2004 规范的湿润表面的不锈钢部件的表面状况

SEMI F19-2004 标准详情

  • 标准号:SEMI F19-2004
  • 中文标题:规范的湿润表面的不锈钢部件的表面状况
  • 英文标题:SPECIFICATION FOR THE SURFACE CONDITION OF THE WETTED SURFACES OF STAINLESS STEEL COMPONENTS
  • 标准类别:国际半导体设备与材料协会
  • 发布日期:2004-03-01

内容简介

Gives a standard for the quality of the internal/wetted surfaces of electropolished 316L stainless steel components for use in chemical liquid and gas distribution systems of semiconductor manufacturing facilities. It defines the wetted surface chara

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