SEMI M66-2010 标准详情
- 标准号:SEMI M66-2010
- 中文标题:测试方法提取有效功函数氧化物和高栅堆叠使用的MIS平带VOLTAGEINSULATOR厚度技术
- 英文标题:TEST METHOD TO EXTRACT EFFECTIVE WORK FUNCTION IN OXIDE AND HIGH- GATE STACKS USING THE MIS FLAT BAND VOLTAGEINSULATOR THICKNESS TECHNIQUE
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:2010-11-01