EN ISO 14644-5-2004 标准详情
- 标准号:EN ISO 14644-5-2004
- 中文标题:洁净室和相关控制环境.第5部分:操作ISO 14644-5-2004
- 英文标题:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations ISO 14644-5:2004
- 标准类别:欧盟标准EN
- 发布日期:2004-08-01
Provides basic requirements for cleanroom operations. Considers all classes of cleanrooms used to produce all types of products.
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