EN ISO 14644-3-2005 标准详情
- 标准号：EN ISO 14644-3-2005
- 中文标题：清洁室和相关受控环境.第3部分:试验方法
- 英文标题：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods ISO 14644-3: 2005
- 标准类别：欧盟标准EN
- 发布日期：2005
EN ISO 14644-3-2005 清洁室和相关受控环境.第3部分:试验方法
内容简介
This part of ISO 14644 specifies test methods for designated classification of airborne particulate cleanlinessand for characterizing the performance of cleanrooms and clean zones. Performance tests are specified fortwo types of cleanrooms and clean
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