DIN EN 62047-8-2011 半导体设备.微机电设备.第8部分:薄膜拉伸性能测量用带弯曲试验方法(IEC 62047-8-2011).德文版 EN 62047-8-2011
DIN EN 62047-8-2011 标准详情
- 标准号：DIN EN 62047-8-2011
- 中文标题：半导体设备.微机电设备.第8部分:薄膜拉伸性能测量用带弯曲试验方法(IEC 62047-8-2011).德文版 EN 62047-8-2011
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films (IEC 62047-8:2011); German version EN 62047-8:2011
- 标准类别：德国标准
- 发布日期：2011-12
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