DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氢硅
内容简介
地方标准《多晶硅用三氯氢硅》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容。本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅。
起草单位
昆明冶研新材料股份有限公司、
起草人
金波、亢若谷、赵祖乔、罗平、宋东明、韩小月、马启坤、赵建为、张云晖、李仕勇、
相近标准
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