SEMI F2-1990 标准详情
- 标准号:SEMI F2-1990
- 中文标题:无缝奥氏体不锈钢管的半导体制造应用
- 英文标题:Specification for seamless austenitic stainless steel tubing for semiconductor manufacturing applications
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:1990
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