DS/EN 62047-12-2012 半导体器件 - 微机电装置 - 第12部分：弯曲的薄膜材料疲劳试验方法，使用MEMS结构的谐振振动
DS/EN 62047-12-2012 标准详情
- 标准号：DS/EN 62047-12-2012
- 中文标题：半导体器件 - 微机电装置 - 第12部分：弯曲的薄膜材料疲劳试验方法，使用MEMS结构的谐振振动
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
- 标准类别：丹麦DANSK
- 发布日期：2012-02-03
内容简介
This part of IEC 62047 specifies a method for bending fatigue testing using resonant vibrationof microscale mechanical structures of MEMS (micro-electromechanical systems) and micromachines. This standard applies to vibrating structures ranging in si
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