ISO 11952-2014 表面化学分析 - 扫描探针显微镜 - 用SPM几何量的测定:校准测量系统
ISO 11952-2014 标准详情
- 标准号:ISO 11952-2014
- 中文标题:表面化学分析 - 扫描探针显微镜 - 用SPM几何量的测定:校准测量系统
- 英文标题:Surface chemical analysis -- Scanning-probe microscopy -- Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
- 标准类别:国际标准化组织ISO
- 发布日期:2014-05-12
内容简介
ISO 11952:2014 specifies methods for characterizing and calibrating the scan axes of scanning-probe microscopes for measuring geometric quantities at the highest level. It is applicable to those providing further calibrations and is not intended for
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