SEMI C3-4-1993 标准详情
- 标准号：SEMI C3-4-1993
- 中文标题：
- 英文标题：Standard For Hydrogen (h2), Bulk Liquid, 99.9995% Quality
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C3-4-1993
内容简介
Suppliers recognizing the importance of impurity content of gases in the manufacture of semiconductors, responded by introducing products with improved analytical characterization, notably for trace impurities. The following criteria was considered w
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