ASTM F1528-1994(1999) 标准测试方法通过二次离子质谱法中的重掺杂的N型硅衬底测量硼污染
ASTM F1528-1994(1999) 标准详情
- 标准号:ASTM F1528-1994(1999)
- 中文标题:标准测试方法通过二次离子质谱法中的重掺杂的N型硅衬底测量硼污染
- 英文标题:Standard Test Method for Measuring Boron Contamination in Heavily Doped N-Type Silicon Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry
- 标准类别:美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期:1994
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers the determination of total trace boron contamination in the bulk of single crystal, heavily doped n-type silicon substrates using secondary ion mass spectrometry
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,本网站所提供的电子文本仅供参考,请以正式出版物为准。仅供个人标准化学习,研究使用。如有侵权,请及时联系我们!