NEN EN ISO 14644-9-2008 标准详情
- 标准号：NEN EN ISO 14644-9-2008
- 中文标题：
- 英文标题：Cleanrooms And Associated Controlled Environments - Part 9: Classification Of Surface Particle Cleanliness
- 标准类别：荷兰国家标准NEN
- 发布日期：
NEN EN ISO 14644-9-2008
内容简介
Specifies the classification of the particle contamination levels on solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environment applications.
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