DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
内容简介
地方标准《多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%。
起草单位
昆明冶研新材料股份有限公司、
起草人
赵建为、张云晖、亢若谷、马启坤、陶明、杨红燕、钱津旺、金波、于晓艳、左世芳、
相近标准
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