SEMI MF1527-2007 指南对认证参考资料和参考晶圆校验仪表与控制应用用于测量电阻率的硅的
SEMI MF1527-2007 标准详情
- 标准号：SEMI MF1527-2007
- 中文标题：指南对认证参考资料和参考晶圆校验仪表与控制应用用于测量电阻率的硅的
- 英文标题：GUIDE FOR APPLICATION OF CERTIFIED REFERENCE MATERIALS AND REFERENCE WAFERS FOR CALIBRATION AND CONTROL OF INSTRUMENTS FOR MEASURING RESISTIVITY OF SILICON
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：2007-03-01
内容简介
Covers the application of Certified Reference Materials (CRMs) for resistivity measurements on silicon wafers. Specifically, covers the use of these CRMs for preparing resistivity reference wafers and for ensuring the quality of the instrumentation u
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