DIN EN 62047-13-2012 半导体装置.微机电装置.第13部分:测量MEMS结构粘接强度的折弯和剪切试验方法(IEC 62047-13-2012).德文版本EN 62047-13-2012
DIN EN 62047-13-2012 标准详情
- 标准号:DIN EN 62047-13-2012
- 中文标题:半导体装置.微机电装置.第13部分:测量MEMS结构粘接强度的折弯和剪切试验方法(IEC 62047-13-2012).德文版本EN 62047-13-2012
- 英文标题:Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (IEC 62047-13:2012); German version EN 62047-13:2012
- 标准类别:德国标准DIN
- 发布日期:2012-10-01
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