ISO/TS 25138-2010 标准详情
- 标准号：ISO/TS 25138-2010
- 中文标题：表面化学分析 用辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
- 英文标题：surface chemical analysis -- analysis of metal oxide films by glow-discharge optical-emission spectrometry
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2010-11-22
ISO/TS 25138-2010 表面化学分析 用辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
内容简介
ISO/TS 25138:2010 describes a glow-discharge optical-emission spectrometric method for the determination of the thickness, mass per unit area and chemical composition of metal oxide films.The method is applicable to oxide films 1 nm to 10 000 nm thic
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