SEMI M38-2007 标准详情
- 标准号:SEMI M38-2007
- 中文标题:规范POLISHED复垦硅片
- 英文标题:SPECIFICATION FOR POLISHED RECLAIMED SILICON WAFERS
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:2007-03-01
Describes requirements for reclaimed silicon wafers to be used for testing and process monitoring in semiconductor manufacturing.
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