SEMI E95-2001 标准详情
- 标准号：SEMI E95-2001
- 中文标题：规范人机界面半导体制造设备
- 英文标题：Specification For Human Interface For Semiconductor Manufacturing Equipment
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E95-2001 规范人机界面半导体制造设备
内容简介
Addresses the area of processing content with the direct intention of developing common software standards, so that problems involving operator training, operation specifications, and efficient development can be resolved more easily.
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