SEMI F32-2011 标准详情
- 标准号：SEMI F32-2011
- 中文标题：试验方法测定流量系数高纯度截止阀
- 英文标题：TEST METHOD FOR DETERMINATION OF FLOW COEFFICIENT FOR HIGH PURITY SHUTOFF VALVES
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：2011-02-01
SEMI F32-2011 试验方法测定流量系数高纯度截止阀
内容简介
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