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SEMI F32-2011 试验方法测定流量系数高纯度截止阀

SEMI F32-2011 试验方法测定流量系数高纯度截止阀

SEMI F32-2011 标准详情

  • 标准号:SEMI F32-2011
  • 中文标题:试验方法测定流量系数高纯度截止阀
  • 英文标题:TEST METHOD FOR DETERMINATION OF FLOW COEFFICIENT FOR HIGH PURITY SHUTOFF VALVES
  • 标准类别:国际半导体设备与材料协会
  • 发布日期:2011-02-01

内容简介

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