ASTM F804-83 标准详情
- 标准号:ASTM F804-83
- 中文标题:实践中对于生产旋涂抗蚀剂厚度曲线
- 英文标题:Practice For Producing Spin Coating Resist Thickness Curves
- 标准类别:美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期:
CONTAINED IN VOL 10.05 1997Gives method for producing spin coating thickness curves for radiation-sensitive resists on substrates, wafers, and maskblanks. Applies to thicknesses from submicrometre to severalmicrometres.
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