SEMI F83-2004 规范FOR 1125英寸型TWO紧固件配置表面贴装配气系统DIMENSION的两种端口组成部分（除MFC / MFM ）
SEMI F83-2004 标准详情
- 标准号：SEMI F83-2004
- 中文标题：规范FOR 1125英寸型TWO紧固件配置表面贴装配气系统DIMENSION的两种端口组成部分（除MFC / MFM ）
- 英文标题：SPECIFICATION FOR DIMENSION OF TWO PORT COMPONENTS (EXCEPT MFC/MFM) FOR 1.125 INCH TYPE TWO FASTENER CONFIGURATION SURFACE MOUNT GAS DISTRIBUTION SYSTEMS
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：2004-03-01
内容简介
Provides common requirements, layout, size, detailed specifications, and dimensions of the components, and pertains to all two port two fastener components (except mass flow controllers and mass flow meters).
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