SEMI S22-2010 标准详情
- 标准号:SEMI S22-2010
- 中文标题:
- 英文标题:Safety Guideline For The Electrical Design Of Semiconductor Manufacturing Equipment
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:
Specifies a set of design based electrical safety considerations for production equipment used in the semiconductor industry.
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,本网站所提供的电子文本仅供参考,请以正式出版物为准。仅供个人标准化学习,研究使用。如有侵权,请及时联系我们!