SEMI E15-1998 标准详情
- 标准号:SEMI E15-1998
- 中文标题:规范TOOL LOAD PORT
- 英文标题:SPECIFICATION FOR TOOL LOAD PORT
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:1998-06-01
The main Document covers the unification of the interface between inspection/process tools and automated wafer carrier transport systems while maintaining the compatibility of human transport. The mechanical interface (load port) for wafer carrier tr
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