SEMI MF1618-2004 标准详情
- 标准号：SEMI MF1618-2004
- 中文标题：实践测定均匀薄膜在硅晶片上
- 英文标题：Practice For Determination Of Uniformity Of Thin Films On Silicon Wafers
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI MF1618-2004 实践测定均匀薄膜在硅晶片上
内容简介
Promotes commonality of approach to the analysis of uniformity among all parties needing to generate or assess such information, including manufacturers of the basic test instrumentation to be used.
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