ASTM E1162-1987(1996) 标准详情
- 标准号：ASTM E1162-1987(1996)
- 中文标题：二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
- 英文标题：Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1987
ASTM E1162-1987(1996) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
内容简介
1.1 This practice covers the information needed to describe and report instrumentation, specimen parameters, experimental conditions, and data reduction procedures. SIMS sputter depth profiles can be obtained using a wide variety of primary beam exci
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