DB35/T 1248-2012 电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法
内容简介
地方标准《电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法》由福建省化学工业气体标准化技术委员会归口上报，主管部门为福建省质量技术监督局。本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。 本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。 各杂质组分的检测限：氢：0.02 μmol/mol、氧（氩）：0.01 μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：0.005 μmol/mol、一氧化碳：0.02 μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。
起草单位
国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、
起草人
林宇巍、陈熔、林永荣、张凤利、郑江琳、陈华、邹震、陈小娟、叶树海、
相近标准
20063777-T-606气体中微量氢的测定气相色谱法GB/T8981-2008气体中微量氢的测定气相色谱法GB/T8981-1988气体中微量氢的测定气相色谱法SH/T1497-1992工业用叔丁醇含量及杂质的测定（气相色谱法）SH/T1497-2002工业用叔丁醇含量及杂质的测定（气相色谱法）SH/T1786-2015工业用异戊烯纯度和烃类杂质含量的测定气相色谱法20212074-T-606工业用丙烯中烃类杂质的测定气相色谱法GB/T3391-2002工业用乙烯中烃类杂质的测定气相色谱法GB/T3392-2003工业用丙烯中烃类杂质的测定气相色谱法工业用丙烯中烃类杂质的测定气相色谱法
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