BS ISO 16413-2013 评价的厚度，密度和薄膜的X射线反射，纯要求对准和定位，数据采集，数据分析的界面宽度和报告的
BS ISO 16413-2013 标准详情
- 标准号：BS ISO 16413-2013
- 中文标题：评价的厚度，密度和薄膜的X射线反射，纯要求对准和定位，数据采集，数据分析的界面宽度和报告的
- 英文标题：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry. Instrumental requirements alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
- 标准类别：英国标准BS
- 发布日期：2013-03-31
内容简介
Describes a method for the evaluation of thickness, density and interface width of single layer and multilayered thin films which have thicknesses between approximately 1 nm and 1 [mu]m, on flat substrates, by means of X-Ray Reflectometry (XRR).
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