标准详情
- 标准名称：分步投影曝光机通用规范
- 标准号：SJ 20711-1998
- 中国标准分类号：CCS11,
- 发布日期：1998-03-18
- 国际标准分类号：
- 实施日期：1998-05-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：电子元器件与信息技术电子工业生产设备其他生产设备
SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范
内容简介
本标准规定了分步投影曝光机的分类、要求、质量保证规定和交货准备等。 本标准适用于超大规范集成电路(VLSI)和专用集成芯片(ASIC)以及其它器件的微细光刻设备。其它类型的曝光机也可参照使用。
起草单位
起草人
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