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行业标准
SJ 1775-1981(2017) 陶瓷、金属封接式电极
标准号
SJ 1775-1981(2017)
现行
行业标准
SJ 1776-1981(2017) GK-100~600超高真空金属油扩散泵结构型式与参数系列
标准号
SJ 1776-1981(2017)
现行
行业标准
SJ 1777-1981(2017) CK-100 ̄600超高真空金属油扩散泵技术条件
标准号
SJ 1777-1981(2017)
现行
行业标准
SJ 1778-1981(2017) CK-100 ̄600超高真空金属油扩散泵试验方法
标准号
SJ 1778-1981(2017)
现行
行业标准
SJ/Z 2926-1988(2009) 集成电路制版设备性能测试方法
标准号
SJ/Z 2926-1988(2009)
已作废
行业标准
SJ 1775-1981(2009) 陶瓷、金属封接式电极
标准号
SJ 1775-1981(2009)
已作废
行业标准
SJ 1777-1981(2009) CK-100 ̄600超高真空金属油扩散泵技术条件
标准号
SJ 1777-1981(2009)
已作废
行业标准
SJ 1781-1981(2009) 溅射离子泵试验方法
标准号
SJ 1781-1981(2009)
已作废
行业标准
SJ 1776-1981(2009) GK-100~600超高真空金属油扩散泵结构型式与参数系列
标准号
SJ 1776-1981(2009)
已作废
行业标准
SJ 1780-1981(2009) 普通二极型溅射离子泵 技术条件
标准号
SJ 1780-1981(2009)
已作废
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