ONORM EN ISO 14644-8-2007 标准详情
- 标准号：ONORM EN ISO 14644-8-2007
- 中文标题：
- 英文标题：Cleanrooms And Associated Controlled Environments - Part 8: Classification Of Airborne Molecular Contamination (Iso 14644-8:2006)
- 标准类别：奥地利国家标准ONORM
- 发布日期：
ONORM EN ISO 14644-8-2007
内容简介
Describes the classification of airborne molecular contamination (AMC) in cleanrooms and associated controlled environments, in terms of airborne concentrations of specific chemical substances (individual, group or category) and provides a protocol t
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