ANSI/CGA G-13-2006 标准详情
- 标准号：ANSI/CGA G-13-2006
- 中文标题：硅烷和硅烷混合物的存储和搬运
- 英文标题：Storage and Handling of Silane and Silane Mixtures
- 标准类别：美国国家ANSI
- 发布日期：2006-08-16
ANSI/CGA G-13-2006 硅烷和硅烷混合物的存储和搬运
内容简介
Describes storage and handling of silane and silane mixtures including practical methods applicable for silane manufacturers, suppliers and end users. G-13 addresses cylinder and bulk silane delivery systems for the semiconductor user community; incl
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