SEMI C63-2007 标准详情
- 标准号:SEMI C63-2007
- 中文标题:
- 英文标题:Guideline For Organosilicate Precursors Used In Low K Cvd Processes
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:
Provides guidelines for organosilicate precursors used in Low K CVD processes for which a need has been identified.
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