ASTM F1771-1997(2002) 标准详情
- 标准号：ASTM F1771-1997(2002)
- 中文标题：用电压斜波技术评价栅氧化层整体性的标准试验方法
- 英文标题：Standard Test Method for Evaluating Gate Oxide Integrity by Voltage Ramp Technique
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1997
ASTM F1771-1997(2002) 用电压斜波技术评价栅氧化层整体性的标准试验方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 The techniques outlined in this standard are for the purpose of standardizing the procedure of measurement, analysis, and reporting of oxide integrity data between interested parties. T
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