SEMI P29-2005 标准详情
- 标准号:SEMI P29-2005
- 中文标题:规格为特点的具体要衰减相移掩膜和口罩空白
- 英文标题:Specification For Characteristics Specific To Attenuated Phase Shift Masks And Masks Blanks
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:
Describes the characteristics specific to attenuated phase shift masks and mask blanks. Also details the attenuated phase shift masks and mask blanks for g-line, i-line, KrF, ArF and/or F2 lithography.
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GB[/T] 空格 00000.00-1111 空格 标准名称
GB表示标准属性,国家标准;0000.00代表标准顺序号;1111代表标准发布或修订年份。以标准GB/T 40028.2-2021 智慧城市 智慧医疗 第2部分:移动健康 为例,搜索建议如下:
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