JIS R1633-1998 标准详情
- 标准号：JIS R1633-1998
- 中文标题：扫描电子显微镜观察用精细陶瓷和陶瓷粉末的样品制备方法
- 英文标题：Sample preparation method of fine ceramics and fine ceramic powders for scanning electron microscope observation
- 标准类别：日本工业标准
- 发布日期：1998-01-20
JIS R1633-1998 扫描电子显微镜观察用精细陶瓷和陶瓷粉末的样品制备方法
内容简介
この規格は,乾燥状態にない試料。揮発性試料,非導電性試料の観察を可能にする特殊な機能及び構造をもたず,試料室の圧力が10 Pa以下で使用可能な走査電子顕微鏡(以下,SEMという。)を用いて,ファインセラミックスのバルク体材料及び粉体才オ料をSEM観察するための試料調製方法について規定する。
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