SEMI F51-2000 标准详情
- 标准号：SEMI F51-2000
- 中文标题：
- 英文标题：Guide For Elastomeric Sealing Technology
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI F51-2000
内容简介
Provides guidelines for the use of seals in semiconductor fabrication equipment. Also describes the diverse chemical and physical requirements for the many process applications, and to reduce cost of ownership and improve up-time through the use of a
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