T/XAI 12-2021 覆晶薄膜基板电气检查测试方法

内容简介

本文件规定了覆晶薄膜基板电气测试原理、测试条件、测试方法、测试结果评定和测试报告等要求，描述了电气检查测试过程，给出了测试结果要求
本文件适用于覆晶薄膜基板的电气检查
1范围、2规范性引用文件、3术语和定义、4原理、5测试设备、6样品、7测试程序、8测试结果评定、9测试报告。