标准详情
- 标准名称:洁净室及相关受控环境 第15部分: 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性
- 标准号:GB/T 25915.15-2022
- 中国标准分类号:C70
- 发布日期:2022-12-30
- 国际标准分类号:13.040.35
- 实施日期:2023-07-01
- 技术归口:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
- 代替标准:
- 批准发布部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:环保保健和安全空气质量清洁室(无菌室)及相关受控环境
国家标准《洁净室及相关受控环境 第15部分: 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求,提供了指南。本文件不适用于以下内容:--健康和安全要求;--清洁剂及清洁技术的相容性;--清洁性;--生物污染;--工艺和产品对设备和材料的特定要求;--设备的设计细节。
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GB/T25915.14-2022洁净室及相关受控环境第14部分:按粒子浓度评估设备适用性GB/T25915.10-2021洁净室及相关受控环境第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级GB/T25915.8-2021洁净室及相关受控环境第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级GB/T25915.9-2018洁净室及相关受控环境第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级20213384-T-469洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法20220341-T-469洁净室及相关受控环境第17部分:颗粒物沉降速率应用20213386-T-469洁净室及相关受控环境第16部分:提升洁净室和空气净化装置的能效20213387-T-469洁净室及相关受控环境性能及合理性评价GB/T25915.2-2021洁净室及相关受控环境第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测
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