标准详情
- 标准名称:洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性
- 标准号:GB/T 25915.14-2022
- 中国标准分类号:C70
- 发布日期:2022-12-30
- 国际标准分类号:13.040.35
- 实施日期:2023-07-01
- 技术归口:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
- 代替标准:
- 批准发布部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:环保保健和安全空气质量清洁室(无菌室)及相关受控环境
国家标准《洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1,关注悬浮粒子粒径范围为0.1 μm至大于或等于5 μm。 本文件不适用于: ——根据微生物污染评估适用性; ——对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试; ——设备和材料的可清洁性; ——设备设计及材料选择的要求; ——材料的静电、热学等物理性能; ——具体工艺场合设备性能的优化; ——测试统计方法的选用; ——当地安全法规的条款和要求。
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GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级GB/T25915.9-2018洁净室及相关受控环境第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级GB/T25915.15-2022洁净室及相关受控环境第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性GB/T25915.2-2021洁净室及相关受控环境第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测GB/T25915.10-2021洁净室及相关受控环境第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级GB/T25915.8-2021洁净室及相关受控环境第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级20213384-T-469洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法GB/T25915.12-2021洁净室及相关受控环境第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求20220341-T-469洁净室及相关受控环境第17部分:颗粒物沉降速率应用20213387-T-469洁净室及相关受控环境性能及合理性评价
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