DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范
内容简介
地方标准《电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范》，主管部门为河北省市场监督管理局。本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。
起草单位
廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
起草人
贾建亮、贾建恩、孙艳、韩云涛、关海华、李继东
相近标准
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