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行业标准

SJ 21266-2018 MEMS陀螺仪测试方法

标准号SJ 21266-2018

现行

发布日期:2018-01-01实施日期:2018-01-01
行业标准

SJ 21170-2016 MEMS惯性器件介质薄膜生长工艺技术要求

标准号SJ 21170-2016

现行

发布日期:2016-01-01实施日期:2016-01-01
行业标准

SJ 21164-2016 MEMS惯性器件圆片减薄抛光工艺技术要求

标准号SJ 21164-2016

现行

发布日期:2016-01-01实施日期:2016-01-01
行业标准

SJ 21166-2016 MEMS惯性器件划片工艺技术要求

标准号SJ 21166-2016

现行

发布日期:2016-01-01实施日期:2016-01-01
行业标准

SJ 21169-2016 MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求

标准号SJ 21169-2016

现行

发布日期:2016-01-01实施日期:2016-01-01
行业标准

SJ 21165-2016 MEMS惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求

标准号SJ 21165-2016

现行

发布日期:2016-01-01实施日期:2016-01-01
行业标准

SJ 21171-2016 MEMS惯性器件光刻工艺技术要求

标准号SJ 21171-2016

现行

发布日期:2016-01-01实施日期:2016-01-01
行业标准

SJ 21168-2016 MEMS惯性器件金属薄膜生长工艺技术要求

标准号SJ 21168-2016

现行

发布日期:2016-01-01实施日期:2016-01-01
行业标准

SJ 21167-2016 MEMS惯性器件圆片键合工艺技术要求

标准号SJ 21167-2016

现行

发布日期:2016-01-01实施日期:2016-01-01
行业标准

SJ/Z 9011.3-1987(2017) 光敏器件的测试第3部分:用于可见光谱的光电导管的测试方法

标准号SJ/Z 9011.3-1987(2017)

现行

发布日期:1987-01-01实施日期:1987-01-01

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