标准详情
- 标准名称：MEMS惯性器件圆片减薄抛光工艺技术要求
- 标准号：SJ 21164-2016
- 中国标准分类号：CCS11,
- 发布日期：2016-01-01
- 国际标准分类号：
- 实施日期：2016-01-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：电子元器件与信息技术电子元件敏感元器件及传感器
SJ 21164-2016 MEMS惯性器件圆片减薄抛光工艺技术要求
内容简介
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