标准详情
- 标准名称：真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
- 标准号：SJ/T 31082-1994
- 中国标准分类号：CCS11,
- 发布日期：1997-01-01
- 国际标准分类号：
- 实施日期：1997-01-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 批准发布部门：
- 标准分类：电子元器件与信息技术电子工业生产设备表面防护设备
SJ/T 31082-1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
内容简介
本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。 标准适用于极限压力在1×10^(-5)~1×10^(-4)pa范围内的各种型号真空镀膜设备。
起草单位
起草人
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