- 标准名称：集成电路用高纯钛溅射靶材
- 标准号：T/ZZB 0093-2016
- 中国标准分类号：CCS8,
- 发布日期：2016-09-10
- 国际标准分类号：
- 实施日期：
- 团体名称：
- 标准分类：冶金有色金属及其合金产品稀有轻金属及其合金
T/ZZB 0093-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材
内容简介
本标准规定了集成电路用高纯钛溅射靶材的术语、定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量承诺和服务保证。本标准适用于集成电路中制造电子薄膜用的各类钛溅射靶材。
起草单位
宁波创润新材料有限公司;宁波江丰电子材料股份有限公司
起草人
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