标准详情
- 标准名称:数字式激光平面干涉仪校准规范
- 标准号:GJB/J 6221-2008
- 中国标准分类号:CCS13,
- 发布日期:2008-03-17
- 国际标准分类号:
- 实施日期:2008-10-01
- 技术归口:
- 代替标准:
- 批准发布部门:
- 标准分类:仪器仪表光学仪器电子光学与其他物理光学仪器
本校准规范规定了数字式激光平面干涉仪的计量特性、校准条件、校准项目、校准项目、校准方法、校准结果的处理和复校时间间隔。本校准规范适用于新制造(或新购置)、使用中、修理后的数字式激光平面干涉仪的校准。其他数字式激光干涉仪的校准也可参照执行。
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